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现在联系 SC200-AT全自动清洗机

全自动清洗机适用于2至6英寸晶圆的清洗工艺 6寸以下wafer全自动清洗工艺处理适合产能要求较高的批量产线可选配MES协议转换模块《查看更多》

现在联系 CC200-CTM CUP清洗机

清洗机适用于5、6英寸Mask清洗工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体自动清洗多种规格MASK掩膜光罩可接受不同规格MASK清洗定制《查看更多》

现在联系 CL200半柜式/全柜式清洗机

半柜式/全柜式清洗机适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统可配置清洗液、氮气温控功能可配置增压泵高压清洗高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺《查看更多》

现在联系 CL200 MASK清洗机

清洗机适用于5、6英寸Mask清洗工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体自动清洗多种规格MASK掩膜光罩可接受不同规格MASK清洗定制《查看更多》

现在联系 SP200-AT全自动喷胶机

全自动喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控《查看更多》

现在联系全自动/轨道式去胶剥离机

全自动/轨道式去胶剥离机适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺（Liftoff工艺）不锈钢柜体,触摸式人机交互界面耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统 8寸以下化合物（钽酸锂等）全自动去胶剥离工艺处理适合声表滤波器（SAW）行业产能要求适中的批量产线可选配MES协议转换模块《查看更多》

现在联系 ET20刻蚀机

刻蚀机适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺可选耐腐蚀PP柜体可按客户需求定制设备规格全自动摆臂、可配备多路刻蚀液触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态可选蚀刻液加热控温及FFU功能专用排风、排废系统、提高设备的安全性《查看更多》

现在联系全自动标准8寸匀胶显影机

全自动标准8寸匀胶显影机适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺最大设备配置:4套匀胶（显影）、10套热（冷）板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理整机适合产能要求较高的批量产线根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块可选配MES协议转换模块《查看更多》

现在联系全自动标准2-6寸匀胶显影机

全自动标准2-6寸匀胶显影机适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺最大设备配置:4套匀胶（显影）、10套热（冷）板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理整机适合产能要求较高的批量产线根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块可选配MES协议转换模块《查看更多》

现在联系 SH200-AT轨道式匀胶显影机

轨道式匀胶显影机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶显影工艺最大设备配置:2套匀胶（显影）单元、4套热（冷）板单元可选8寸以下多种wafer尺寸全自动匀胶/显影,烘烤工艺处理整机性价比高,适合产能要求适中的批量产线根据客户工艺需求可加装等离子风棒等模块可选配MES协议转换模块《查看更多》

现在联系超大型匀胶机

超大型匀胶机适用于直径450mm-2000mm的非规则重载基底匀胶工艺可根据客户基片规格及工艺定制设备不锈钢全柜式柜体,多级安全系统透明观察窗,配置专业排风及排废系统可配置自动胶臂滴胶功能触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方《查看更多》

现在联系 AC800大型匀胶/显影机

大型匀胶/显影机适用于直径450mm-800mm的非规则重载基底匀胶工艺可根据客户基片规格及工艺定制设备不锈钢全柜式柜体,多级安全系统透明观察窗,配置专业排风及排废系统可配置自动胶臂滴胶功能触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方《查看更多》

现在联系 SH200匀烤胶一体机

匀烤胶一体机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标可选配置空气净化单元（FFU）《查看更多》

现在联系 DE200显影机

显影机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴高精度伺服控制系统,性能稳定升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能《查看更多》

现在联系 SP200喷胶机

喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控《查看更多》

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